Porous
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Porous
POROUS CERAMIC(다공질 세라믹)이란 기존의 흡착판과는 다르게 세라믹 소결기술을 응용하여 소재 자체로 무수한 기공을 가지게 만든 소결체입니다.
최근 각종 필터, 고온 내화물, 고온로 치구(kiln furniture), 흡수재, 흡음재, 경량구조재, 단열재 등 각종 산업의 기초재료로서 광범위하게 사용 되고 있는 소재입니다.
특히 최근 반도체, LED, PCB, 머시닝 및 디스플레이 생산 분야에서 요구하는 박막 흡착에 따른 고정도 고성능을 가진 진공 흡착 기술에 활용되고 있습니다.
다공질 세라믹은 고 기공율을 갖고 있으면서도 고강도의 성질을 유지하는 것이 무엇보다 중요하며 특히 최근 이슈로 떠오르는 반도체 및 디스플레이 분야에서의 다공질 세라믹은 균일한 기공율을 유지하면서 가공 후 표면의 조도가 좋아야 제품에 손상을 주지 않습니다.
다공질 세라믹의 기공율은 높은 것이 좋지만 기공율이 높아질수록 소재의 강도가 저하되는 단점이 있습니다. 또한, 기공밀도가 낮으면 기공율이 저하되거나, 일정한 기공율에서 상대적으로 기공의 크기가 커진다는 것을 의미하므로, 기공밀도가 낮은 소재 역시 강도가 떨어지는 문제가 있습니다.
㈜씨엠티엑스는 이러한 문제점을 해결해드리고 사용환경에 가장 적합한 제품으로 설계, 생산해 드리고 있습니다.
| POROUS 제품 사양 | |
|---|---|
| 주요성분 | Al2O3, SiC (99% 이상) 외 |
| 기공사이즈 | 2 ~ 120 um (주력 제품 : 60um 내외) |
| 기공율 | 35~40% |
| 색상 | 짙은 회색, 갈색, 백색 (기공 사이즈에 따라 색상의 차이 있음) |
| 사이즈 | 최대 D520 (소재 생산 기준) |
| 표면저항(Ω) | 10^6 ~ 10^10 Ω㎠ |
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흡착 자국 방지
균일한 기공분포(기공율 40% 내외)와 작은 기공 사이즈로 기존 알루미나 베큠척에서 생기는 흡착홀에 의한 흡착 자국을 남기지 않습니다.
특히 박막필름 공정에 최적화 된 제품입니다. -
균일한 흡착력
흡착판 전면에 균일한 기공이 분포되어 있어 전면이 균일한 압력으로 흡착됩니다.
특히, 필름 류의 휨이 발생한 제품의 흡착에 아주 유리합니다. -
대전 방지 효과
정전기 확산성이 뛰어나 정전기 제거 효과가 뛰어납니다. 씨엠티엑스의 포러스 세라믹은 제품 자체의 표면저항이 10^6 ~10^9 Ωcm2을 유지 하고 있어 제조 공정중 정전기를 가진 제품이 투입되더라도 서서히 제거해주는 효과가 있습니다.
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스크래치 방지
표면 조도가 우수하여 제품 표면에 상처가 나지 않습니다. 고른 기공 분포와 씨엠티엑스의 가공 기술로 제품의 표면을 매끄럽게 가공하여 필름 및 글라스 표면에 스크래치가 나지 않습니다.
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다양한 사이즈
어떠한 형상과 사이즈에도 대응이 가능합니다. 씨엠티엑스는 세라믹, 사파이어 등 반도체 부품 및 소재 가공 전문 기업으로 베큠척의 베이스 가공에서 포러스 가공 및 접합, 후가공까지 모든 공정을 일괄 처리하여 최고의 품질과 신속한 대응을 보장합니다.