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Quartz & Glass

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Overview

  • QUARTZ 소개
  • Quartz (석영, SiO2)

    쿼츠(Quartz)는 가스함유량이 적고 전기전도를 생기게 하는 알칼리 성분을 거의 포함 하고 있지 않는부도체 상태로
    ‘실리카 Glass’라고 불립니다.  

    고순도화된 석영유리 섬유는 광흡수가 적고 우수한 도광성을 가지고 있어 광파이버로서 중요한 소재이며
    반도체에서는 주로 Dry Etch와 Diffusion 공정에 사용됩니다. 
    내열, 내열충격, 내약품성을 이용하여 이화학 실험기구나 시계, 통신기 등 수정 진동자로써 사용되고
    광파이버는 광일렉트로닉스 진보에 따라 광학부품으로 사용이 점점 증가하는 추세 입니다.

Feature

Quartz(SiO2)의 대표적 특성
초고순도의 재질적 특성을 갖는다.
투명 석영 GLASS는 고순도의 무수규산을 높은 온도에서 용융하기 때문에 불순물의 함량이 극히 미량이며 불투명 석영 GLASS는 양질의 규석을 원료로 하여 SIO2 99.99% 이상의 순도로 대형벨자, 실리콘 정제장치 등에 쓰인다.
가스 함량이 적다
반도체 산업에서는 고온에서 안정성이 높은 재질이 요구되는데 이러한 점에서 석영 GLASS는 다른 재질에 비해 월등히 뛰어나다.
열팽창 계수가 적고 고온에서 뛰어난 특성을 가진다
팽창계수 5×9°C ( 0 - 1000 °C)로 급열, 급냉에 대해서 높은 내열성을 가지고 반도체 공정에서는 1100°C의 고온에서도 적용된다.
비열과 비전도율
비열은 890-1,140 J/㎏ (20-1000) 이며 열전도율은 0°C 에서 1.3w/mk, 100°C 에서 1.5 w/mk이다. 불퉁명과 투명의 비열은 비슷하나 열전도율은 불투명 Glass가
다소 낮은편이다.
뛰어난 전기 절연체
투명 석영 Glass는 전기전도를 생기게 하는 알카리 성분을 거의 포함하고 있지 않아 부도체이며 모든 주파수에 대해서 유전체 손실이 적어 초고주파에 있어서의
특성이 매우 우수하기 때문에 특수한 측정기나 통신기종에는 없어서는 안될 절연체로 널리 이용되고 있다.
자외선, 가시광선, 적외선을 잘 통과시킨다
투명 석영 Glass는 자외부의 0.18㎛ 에서부터 적외부의 4㎛에 이르는 파장의 빛을 투과하므로 조명, 광학용 재료와 광파이버(광섬유) 등의 재료로서도 널리 사용된다.

Products

(주)코마테크놀로지는 반도체 공정중 Spare Part에서 필요한 Ring Type 제품 뿐만 아니라 광학 렌즈, 챔버용 윈도우, 지그, 기타 구조물 등 다양한 가공품을 제작하고 있습니다.
또한, BORO33, BK7외 다양한 Glass 소재를 통한 제품 생산기술을 확보 하고 있습니다.

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