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Injector / Nozzle

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Overview

Sapphire Nozzle

- 사파이어 소재 변경으로 인한 혁신적 효과

  • 오염원
    발생예방
  • 파티클
    최소화
  • 높은
    내구성
  • 원가 절감
  • 수율 향상

사파이어는 초고순도(Alumina 99.9999%) 단결정 소재이며 지구상에 존재하는 물질중 다이아몬드 다음으로 높은 경도 및 강도를 보유하며 섭씨 2040˚C의 고온에서 견디는 내열성 및
내화학성을 보유한 현존하는 최고의 소재입니다.

현재 반도체 공정에서 사용되는 Ceramics, Quartz, Silicon 등의 소재로 만들어진 부품을 사파이어로 대체하면 반도체 제조공정중 증착 및 식각(CVD & Eching)공정 Chamber 내에서
발생되는 오염원 및 파티클 발생을 최소화 하여 수율을 극대화 시킵니다.

또한 사파이어 소재의 높은 내구성으로 인하여 부품 수명이 증가하여 교체주기를 증가시켜 원가절감에 혁신적인 기여를 합니다.

사파이어는 NF3 및 CF4를 이용하는 환경에서 파티클 발생을 최소화하며 긴 수명과 연속적인 작업 환경을 만듭니다.

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