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Sapphire Viewport window
Sapphire Window는 화학적으로 내구성이 강하고 고강도, 고 투과성 사파이어 창으로
반도체 프로세스 챔버뿐만 아니라 다른 많은 고진공 어플리케이션에도 사용됩니다.
최근 까다로운 고진공 분야에서 quartz window 를 Sapphire window 로 빠르게 대체하여 활용하고 있습니다.
특히 NF3 및 CF4가스 등을 활용한 고식각 프로세스 환경에서는 quartz window 의 표면이 흐려지면서 빠르게 식각되며,
이렇게 식각된 쿼츠 윈도우는 실링을 손상시켜 수명을 단축시키거나 쿼츠의 언더 컷(undercutting)에 의한 파손을 일으키기도 합니다.
이렇게 quartz window 의 수명은 상당히 제한 될 수 있지만 대부분의 경우 사파이어 창은 무기한으로 사용할 수 있습니다.
㈜코마테크놀로지는 다양한 분야의 사파이어 윈도우 제조 경험을 통해 합리적인 가격과 최상의 퀄리티를 보장해 드립니다.
㈜코마테크놀로지는 사파이어윈도우(뷰포트윈도우) 시장에서 세계1위를 지향합니다.
어떤 곳보다도 경쟁력 있는 가격으로 최고의 품질을 경험하세요.
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